MLI 準分子激光

MLI系列設(shè)備為工業(yè)應用提供直接波長的準分子激光器。當然，如果需要，基本單元可以根據(jù)個人需求進行調(diào)整。

MLI-200 / 500 / 1000 準分子激光

MLase 的現(xiàn)代緊湊型準分子激光器是 193 nm 或 248 nm 的紫外光源，脈沖能量高達 16 mJ，重復頻率高達 1，000 Hz

市場上具有最高使用壽命和可靠性以及低擁有成本的獨立設(shè)備。由于光束輪廓均勻，能量穩(wěn)定，適用于要求苛刻的應用。

帶有附加LC的準分子激光器還可以進行主動水冷（通過生活用水或外部熱交換器;無去離子水），以實現(xiàn)穩(wěn)定的連續(xù)運行。

波長（納米）

193193193248248248

重復頻率（赫茲）

20050010002005001000

穩(wěn)定的

脈沖能量 （mJ）

666101010

穩(wěn)定平均功率 （W）

1,23,06,02,05,010

脈沖穩(wěn)定性（西格瑪 %）

222222

光束尺寸（FWHM，VxHmm）

6×36×36×36×36×36×3

光束發(fā)散（FWHM，VxHmm）2×12×12×12×12×12×1

脈沖長度

5-105-105-105-155-155-15

MLI-500 / 1000 準分子激光 LC

波長（納米）

193193248248

重復頻率（赫茲）

50010005001000

穩(wěn)定的脈沖能量 （mJ）661010

穩(wěn)定平均功率 （W）

3,06,05,010

脈沖穩(wěn)定性（西格瑪 %）

2222

光束尺寸（FWHM，VxHmm）

6×36×36×36×3

光束發(fā)散（FWHM，VxHmm）

2×12×12×12×1

脈沖長度

5-105-105-155-15